氦質(zhì)譜檢漏儀采用氦作示漏氣體進行檢漏的質(zhì)譜計稱為氦質(zhì)譜檢漏儀。它是真空檢漏中靈敏度最高和應(yīng)用最普遍的一種檢漏儀器。
(1)結(jié)構(gòu)原理 氦質(zhì)譜檢漏儀基本上屬于磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計,主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電子電路三大部分組成。質(zhì)譜室是氦質(zhì)譜檢漏儀的關(guān)鍵部件,它主要由離子源、分析器和接收器組成。
它的工作原理如圖2-42所示。
由于質(zhì)譜室必須在高真空條件下工作,儀器的真空系統(tǒng)是一高真空抽氣機組,它主要由機械真空泵、油擴散泵或渦輪分子泵、冷阱(有些儀器沒有)、真空閥門以及真空計等組成。
儀器的電子電路部分主要由質(zhì)譜室工作穩(wěn)定電源、離子流測量放大器、音響與燈光報替裝置、真空系統(tǒng)電源以及控制電源等組成。采用微處理機可使氦質(zhì)譜檢漏儀的整個檢漏過程實現(xiàn)自動控制和操作。
(2)主要技術(shù)性能
檢漏靈敏度:一般為10ˉ?~10ˉ12Pa·m3/s
返流式為10ˉ? ~10ˉ11 Pa·m3/s
工作壓力:一般為10ˉ2Pa
返流式為≥10Pa
高真空系統(tǒng)真空度:風(fēng)冷油擴散泵機組為10ˉ3Pa
渦輪分子泵機組為10ˉ?Pa
反應(yīng)時間:<1-3s
質(zhì)譜室:180°(或90°)磁偏轉(zhuǎn)扇形質(zhì)譜室
(3)優(yōu)缺點
主要優(yōu)點:
①靈敏度高、反應(yīng)迅速、穩(wěn)定可靠;
②采用微型計算機控制實現(xiàn)全自動操作;
③氦在大氣中十分稀少(約二十萬分之一),又比空氣輕,不會造成嚴(yán)重影響;
④氦的質(zhì)量小,擴散系數(shù)大,反應(yīng)時間短。又不容易被吸附,容易被抽走。
⑤氦為惰性氣體,使用安全,不會影響真空衛(wèi)生。
其主要缺點為結(jié)構(gòu)復(fù)雜,價格昂貴。
氦質(zhì)譜探漏儀也可使用真空法檢漏或加壓法檢漏。