熱傳導真空計是利用低壓下氣體的熱傳導與壓力有關的原理而制成的測量真空壓力的儀器,是一種相對真空計。其方法是給真空中的一根金屬絲通電加熱,當加熱功率恒定時,熱絲的溫度也是恒定的。但若氣體壓力改變,氣體分子從熱絲導走的熱量也就改變,因而熱絲溫度就會發生變化。所以熱絲的溫度是氣體壓力
的函數,即T=f(p)。只要事先找出這個函數關系,即可由某時刻熱絲的溫度求出對應的真空壓力p值。測量熱絲溫度有如下兩種方法。
①利用熱絲電阻隨溫度變化的特性,測量熱絲的電阻變化,此種真空計稱為電阻真空計。
②利用熱電偶直接測量熱絲溫度的變化,此種真空計稱為熱偶真空計。