薄膜式氣動閥原理結(jié)構(gòu)如圖3-29所示，圖中圓形橡皮薄膜固定在外殼上，在薄膜上聯(lián)結(jié)有推桿，彈簧力推動薄膜向上，產(chǎn)生一初應(yīng)力(此初應(yīng)力可以調(diào)整)。由調(diào)節(jié)器送來的壓縮氣體，由進氣口進入薄膜的上腔，由于氣壓的不同，相應(yīng)地改變著閥門的開啟度，因為薄膜面積較大，所以在推動桿上有足夠大的作用力。膜片有效面積越大，執(zhí)行機構(gòu)的位移推力越大。國產(chǎn)薄膜式氣動閥膜片有效面積有200, 280, 400, 630,1000, 1600cm六種規(guī)格。薄膜式氣動閥通常接受0.02~0.1 MPa的信號壓力。當薄膜上信號壓力增大時，閥門開度變大的閥門為氣開式氣動閥;當薄膜上信號壓力增大，閥門開度變小的閥門為氣閉式氣動調(diào)節(jié)閥。