這種濕度計(jì)的加速度高、體積小、測量范圍大、反應(yīng)迅速。其基本原理是:對一定幾何結(jié)構(gòu)的電容器來說，其電容量與二極間介質(zhì)的介電系數(shù)?成正比關(guān)系。不同物質(zhì)?值互不相等，一般介質(zhì)?值在2~5之間，但水的?=81，比一般物質(zhì)大很多。

電容式濕度計(jì)就是利用這個特點(diǎn)制成的，當(dāng)空氣中含有的水分變化時，能引起電容器電容量的變化，這個變化與空氣中含水量有線性關(guān)系。但電容介質(zhì)損耗與介質(zhì)濕度也有關(guān)，濕度愈高，則損耗愈大，損耗大對測量精度是不利的。

如損耗很大，甚至無法測出電容量的變化。因此，電容式濕度計(jì)常用于低濕區(qū)的濕度測量，而低濕區(qū)的濕度測量卻是前面幾種濕度發(fā)信器的薄弱環(huán)節(jié)。