壓阻式傳感器有兩種類(lèi)型:一類(lèi)是利用半導(dǎo)體材料的體電阻支撐粘貼式的應(yīng)變片,做成半導(dǎo)體應(yīng)變式傳感器;另一種是在半導(dǎo)體材料的基片上用集成電路工藝支撐擴(kuò)散電阻,作為測(cè)量傳感元件,亦稱(chēng)擴(kuò)散型壓阻式傳感器,或固態(tài)壓阻式傳感器,固態(tài)壓阻式傳感器主要用于測(cè)量壓力和加速度等物理量。
壓阻式傳感器的優(yōu)點(diǎn)是:①靈敏度非常高,有時(shí)傳感器的輸出不需要放大可直接用于測(cè)量;②分辨度高,例如測(cè)量壓力時(shí)可測(cè)出10~20Pa的微壓;③測(cè)量元件的有效面積可做的很小,故頻率響應(yīng)高;④可測(cè)量低頻加速度與直線加速度,壓阻式傳感器的最大缺點(diǎn)是溫度誤差較大,故需要溫度補(bǔ)償或在恒溫條件下使用。