寄生電容與傳感器電容相并聯影響傳感器靈敏度，而它的變化則為虛假信號，影響儀器的精度。必須消除和減小它，可采用如下方法：

①增加原始電容值，可減小寄生電容的影響。采用減小極片或極簡間的間距(平板式間距為0.2~0.5mm，圓簡式間距為0.15mm)，增加工作面積或工作長度來增加原始電容值，但受加工及裝配工藝、精度、示值范圍、擊穿電壓、結構等限制。一般電容值變化在10^-8~10³pF范圍內，相對值△C/C變化則在10^-8~1范圍內。

②注意傳感器的接地和屏蔽。圖4-6為采用接地屏蔽的賀簡形電容式傳感器。圖中可動極簡與連桿固定在一起隨被測值位移，并與傳感器的屏蔽這(良導體)同為地，因此當可動極筒移動時，它與屏蔽殼之間的電容值將保持不變，從而消除了由此產生的虛假信號。電纜引線也必須屏蔽至傳感器屏蔽殼內。為了減小電纜電容的影響，應盡量使用短而粗的電纜線，縮短傳感器至電子線路前置級的距離。