電容式傳感器所具有的高靈敏度、高精度等獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)是與其正確設(shè)計(jì)、正確選材以及精細(xì)的加工工藝分不開的。在設(shè)計(jì)傳感器的過程中,在所要求的量程、溫度和壓力范圍內(nèi),應(yīng)盡量使它具有低成本、高精度、高分辨力、穩(wěn)定可靠和好的頻率響應(yīng)等,但一般不易達(dá)到理想程度,因此經(jīng)常采用折囊方案。對于電容傳感器,設(shè)計(jì)時(shí)可以從下面幾個(gè)方面予以考慮:
減小環(huán)境溫度、濕度等變化所產(chǎn)生的誤差,保證絕緣材料的絕緣性能溫度變化使傳感器內(nèi)各零件的幾何尺寸和相互位置及某些介質(zhì)的介電常數(shù)發(fā)生改變,從而改變傳感器的電容量,產(chǎn)生溫度誤差。濕度也影響某些介質(zhì)的介電常數(shù)和絕緣電阻值。因此必須從選材、結(jié)構(gòu)、加工工藝等方面來減小溫度等誤差和保證絕緣材料具有高的絕緣性能。
電容式傳感器的金屬電極的材料以選用溫度系數(shù)低的鐵鎳合金為好,但較難加工。也可采用在陶盜或石英上噴鏡金或銀的工藝,這樣電極可以做得極落,對了減小邊緣效應(yīng)極為有利。
傳感器內(nèi)電極表面不便經(jīng)常清洗,應(yīng)加以密封,用以防塵、防潮。若在電極表面鏡以極菏的惟性金屬(如能等)層,則可代蕉密封件而起保護(hù)作用,可防塵、防溫、防濕、防腐蝕,并且在高溫下可減少表面損耗,降低溫度系數(shù),但成本較高。