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透射式光柵傳感器的結構和工作原理

   2019-12-03 十二4816
核心提示:通過光柵柵距的位移和莫爾條紋的對應關系,就可以容易地測量莫爾條紋移動數,獲取小于光柵柵距的微小位移量。


光柵的基本元件是主光權和指示光柵。它們是在一塊長條形光學玻璃上,均勻刻上許多明暗相間寬度相等的刻線,如圖14 - 1(a)所示。常用的光柵每毫米有102550、100250條線。主光柵的刻線一般比指示光柵長。若刻線寬度為a, 縫隙寬度為b則W=a+b為光柵節距或柵距。

若將兩塊光粗(主光柵、指示光柵)合在一起 ,并且使它們的刻線之間成度θ,如圖14 - 1(b)所示。由于思光效應,兩塊光頂的刻線相交處形成亮帶的刻線與另一塊光柵的色階相交處形成暗帶,在與光柵刻線垂直的方向,條紋,這些條紋就稱為爾條紋。


如果改變θ角,兩條莫爾條紋間的距離B也隨之變化。當兩塊光柵沿著垂直于刻線方向相對移動時,莫爾條紋將沿著刻線方向移動,光柵移動一個節距W,莫爾條紋也移動一個間距。

從式(14-1)可知,θ越小,B越大,使得B>>W,即莫爾現象有使柵距放大的作用,因此,讀出莫爾條紋的數目比讀光柵刻線要方便得多。通過光柵柵距的位移和莫爾條紋的對應關系,就可以容易地測量莫爾條紋移動數,獲取小于光柵柵距的微小位移量。

透射式圓盤光柵如圖14-2(a)所示。光柵盤內是一個定位圓(θ=42mm),圓光柵上每根刻線都通過圓心,W為節距(見圖14-2A放大圖)。同樣,a=b=W/2,兩條相鄰刻線的夾角稱為角距離。通常在圓盤上刻有1080~648000條線。將兩塊具有相同柵距W的圓光柵香合在一起,使其圓心0O'之間保持很小的偏差量c,于是光柵各個部分的夾角θ將不同,便形成了不同曲率半徑的圓弧莫爾條紋,如圖14-2(b)所示。

 

 

 

 
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