結構:高分子電容式濕度傳感器的結構如圖3-21所示,由基片、感濕膜和引出電極組成。

工作原理:由高分子材料組成的感濕膜吸附環境中的水分子后,電容量會發生明顯的變化,高分子電容式濕度傳感器就是根據這一原理而制成的傳感器。電容量取決于環境中水壯氣的相對壓力,電極的有效面積和感濕膜的厚度。

特性:高分子電容式濕度傳感器具有濕度與電容量基本呈線性變化,輸出濕滯小,溫度系數小,性能穩定,輸出不受其他氣體影響等特點。常見的MSR-1型電容式濕度傳感器的基本特性為:使用溫度在-10~60℃,濕度范圍為0~100%RH,頻率范圍為10~200Hz，靈敏度為0.1pPF/%RH(20℃),電容量為45pF±5pF(12%RH/20℃),響應時間小于5s。

它的特性曲線如圖3-22所示。

高分子電容式濕度傳感器應用:圖3-23是高分子電容式濕度傳感器HS15的應用原理圖。HS15是一種在高濕度環境中有很強適應性的電阻-高分子型濕度傳感器。測量濕度范圍為0~100%RH,在電路中雖沒有線性化電路,但能獲得±5%RH精度的輸出信號,在0~100%RH的濕度范圍內,可輸出0~1V的直流電壓。只要增加相應的輸出電路就能組成濕度測量電路或控制電路。